一、背景介绍
电气比例阀是一种根据直流电压控制信号大小来调整阀芯的截面面积，从而实现调节出口压力大小的调节。电气比例阀也可以被看作是一种电子式减压阀，可通过电压信号将较高的进气压力调整和控制到相应的较小压力值。
因电气比例阀具有可远程控制的减压功能，所以电气比例阀常被用于各种气体压力控制，同时电气比例阀也常被用作先导阀来驱动压力放大器（背压阀）实现更高压力的调节和控制。由此，电气比例阀的控制精度，特别是分辨率、灵敏度和稳定性，决定了工艺压力控制的最终效果。为实现0.1%超高精度的压力控制，需要选择合适的电气比例阀。本文将介绍三种典型电气比例阀的控制精度考核试验和结果，主要是对线性度和稳定性进行考核测试，以从中确定合适性价比的电气比例阀来满足超高精度压力控制要求。