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GCE气体质量流量控制器

GCE气体质量流量控制器

费尔顿GCE系列气体质量流量控制器，为热式计量方式。精度为“±1.0%S.P.(Q≥30%F.S.);  ±0.30%F.S.(Q<30%F.S.)”，量程区间1sccm~800slm。常用于光伏、镀膜等行业。

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MFC控制方式：
MFC气体精度：
MFC气体响应时间：
MFC使用温度：
MFC使用压差：
MFC通讯方式：
  

费尔顿GCE系列气体质量流量控制器，为热式计量方式。精度为“±1.0%S.P.(Q≥30%F.S.);  ±0.30%F.S.(Q<30%F.S.)”，量程区间1sccm~800slm。常用于光伏、镀膜等行业。

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