FC系列气体质量流量控制器，拥有RS485/Profibus/DeviceNet/EtherCAT/模拟量等多样化的通讯方式，控制精度为“±0.25%S.P.(Q≦25%F.S.);  ±1%F.S.(Q>25%F.S.)”。用于薄膜、光伏等行业。